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摘要:,,近期真空泵技术取得显著进展,特别是在高效能、低噪音、智能化及耐腐蚀性方面有明显提升。新技术采用先进的材料科学和制造工艺,使得真空泵的性能得到极大优化。其应用领域也日益广泛,包括半导体制造、太阳能光伏、化工、...